专利名称 ---【 光学系统波像差标定装置及该装置测试误差的标定方法 】

基本信息
申请号
CN201110157897.5
申请日
2011.06.13
公开(公告)号
CN102261985A
公开(公告)日
2011.11.30
申请(专利权)人
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请人地址
130033 吉林省长春市东南湖大路3888号
发明人
金春水;王丽萍;张宇; 专利类型 发明专利
摘要
光学系统波像差标定装置及该装置测试误差的标定方法,涉及光学测量技术领域,它解决现有光学系统在检测光学元件之前无法评价其测试误差是否满足检测精度要求以及选择合适的移相算法对采集的数据进行处理的问题,本发明所述的分光系统出射两束共光路的正交线偏振光经偏振分光棱镜出射后经过耦合透镜耦合到参考光纤中,所述参考光纤衍射的两个球面波发生干涉,获得干涉图;采用光电探测器进行采集后传送至计算机,采用压电陶瓷进行移相,所述光电探测器采集多次干涉图;采用十三步移相算法进行数据处理分析,获得测试误差,本发明实现对光学系统波像差的超高精度检测。
主权项
光学系统波像差标定装置,该装置包括分光系统、耦合透镜(12)、参考光纤(13)、电动偏振控制器(14)、光电探测器(15)、计算机(16);其特征是,所述分光系统包括激光器(1)、中性密度滤光片(2)、二分之一波片(3)、偏振分光棱镜(4)、第一四分之一波片(5)、第二四分之一波片(6)、第一角锥棱镜(7)、第二角锥棱镜(8)、第一平面反射镜(10)和第二平面反射镜(11);所述激光器(1)出射的光束经中性密度滤光片(2)、二分之一波片(3)和偏振分光棱镜(4)后,分成两束正交的线偏振光,第一束线偏振光经过偏振分光棱镜(4)的水平方向的第一四分之一波片(5)和第一角锥棱镜(7)后,经第一平面反射镜(10)反射至偏振分光棱镜(4);第二光线偏振光经过偏振分光棱镜(4)垂直方向的第二四分之一波片(6)和第二角锥棱镜(8)后,经第二平面反射镜(11)反射至偏振分光棱镜(4),所述偏振分光棱镜(4)出射的光束经耦合透镜(12)耦合到参考光纤(13)中,电动偏振控制器(14)控制光束的偏振态,光电探测器(15)接收参考光纤(13)端面反射光束的干涉图被计算机(16)接收。

 

IPC信息
IPC主分类号
G01M11/02(2006.01)I
IPC分类号
G01M11/02(2006.01)I

 

法律状态信息
法律状态公告日
2015.08.05
法律状态
专利权的终止 法律状态信息
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01M 11/02 申请日:20110613 授权公告日:20121212 终止日期:20140613
法律状态公告日
2012.12.12
法律状态
授权 法律状态信息
授权
法律状态公告日
2012.01.11
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
实质审查的生效 IPC(主分类):G01M 11/02 申请日:20110613
法律状态公告日
2011.11.30
法律状态
公开 法律状态信息
公开

 

代理信息
代理机构名称
长春菁华专利商标代理事务所 22210
代理人姓名
陶尊新

 

被引专利信息
引用阶段 被引时间 专利号 申请人 公开时间
SEA 20120720 CN101609266A BEIJING INST TECHNOLOGY [CN] 20091223
SEA 20120720 CN101655670A BEIJING INST TECHNOLOGY 20100224
SEA 20120720 CN101813894A BEIJING INST TECHNOLOGY 20100825
SEA 20120720 DE69717575T2 NIKON CORP [JP] 20040108
SEA 20120720 JP2004273482A CANON KK 20040930
SEA 20120720 JPH11304641A CANON KK 19991105
SEA 20120720 US5317144A OONO MASAHIRO [JP], et al 19940531

 

被引非专利信息
引用阶段 被引时间 被引文档类型 被引文档信息
SEA 20120720 s 邢廷文等:193nm移相点衍射干涉仪的测量误差分析,《光电工程》, vol. 36, no. 2, 28 February 2009 (2009-02-28), pages 67 - 72
SEA 20120720 s 张海涛:基于光学设计软件的相移点衍射干涉仪建模,《中国光学与应用光学》, vol. 3, no. 6, 31 December 2010 (2010-12-31), pages 616 - 622
SEA 20120720 s 刘景峰等:移相式点衍射干涉仪的几个关键技术,《仪器仪表学报》, vol. 28, no. 4, 30 April 2007 (2007-04-30), pages 179 - 182
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