专利名称 ---【 一种YBCO涂层导体阻挡层的制备方法 】

基本信息
申请号
CN201110171852.3
申请日
20110624
公开(公告)号
CN102242357A
公开(公告)日
20111116
申请(专利权)人
中国科学院电工研究所
申请人地址
100190 北京市海淀区中关村北二条6号
发明人
丁发柱;古宏伟;张腾;戴少涛; 专利类型 发明专利
摘要
一种YBCO涂层导体阻挡层的制备方法。首先配制前驱液,把异丙醇铝和去离子水按照Al∶H2O=1∶50-1∶100的摩尔比例混合,在80-90℃条件下用磁力搅拌器搅拌溶液,搅拌均匀后往溶液中滴加盐酸,调节PH值至2~4;再把溶液在80-90℃磁力搅拌器搅拌4-8h,得到透明的Al2O3凝胶;然后,将Al2O3凝胶涂覆在基片上;涂覆过薄膜的基片置于高温管式石英炉中,在300℃~500℃温度、惰性气氛下进行5-10h的低温热处理,即可得到非晶氧化铝薄膜。本发明制备的非晶氧化铝薄膜平整、致密。
主权项
1.一种YBCO涂层导体阻挡层的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)按照Al∶H2O=1∶50-1∶100的摩尔比例把异丙醇铝和去离子水混合;(2)将上述步骤(1)配制的溶液在80-90℃条件下经磁力搅拌器搅拌1-3h;(3)在上述步骤(2)制得的溶液中添加盐酸,调节所述溶液的PH值至2-4;(4)将上述步骤(3)配制的溶液在80-90℃下经磁力搅拌器搅拌4-8h,得到透明的Al2O3凝胶;(5)将步骤(4)制得的所述Al2O3凝胶采用旋涂或提拉方法涂覆在基片上;(6)将步骤(5)涂覆过薄膜的基片置于高温管式石英炉中,在300℃-500℃温度下进行5-10h的低温热处理,即可得到非晶氧化铝薄膜;该步骤的升温速率为5℃/h;该步骤是在氩气或者氮气等惰性气氛中进行。

 

IPC信息
IPC主分类号
C23C20/08

 

法律状态信息
法律状态公告日
20131127
法律状态
发明专利申请公布后的驳回 法律状态信息
CN201110171852 20120502 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 20/08申请日:20110624
法律状态公告日
20111116
法律状态
公开 法律状态信息
CN201110171852 20131127 发明专利申请公布后的驳回 发明专利申请公布后的驳回IPC(主分类):C23C 20/08申请公布日:20111116
法律状态公告日
20120502
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
CN201110171852 20111116 公开 公开

 

代理信息
代理机构名称
北京科迪生专利代理有限责任公司 11251
代理人姓名
关玲

 

被引专利信息
引用阶段 被引时间 专利号 申请人 公开时间
SEA 20120907 CN101456567A UNIV JILIANG CHINA [CN] 20090617
SEA 20120907 CN101567242A UNIV WUHAN TECH [CN] 20091028
SEA 20120907 TW200728203A TAIWAN TFT LCD ASS [TW], et al 20070801

 

被引非专利信息
引用阶段 被引时间 被引文档类型 被引文档信息
SEA 20120907 s 杨辉等:透明氧化铝薄膜的疏水性能研究,《稀有金属材料与工程》
SEA 20120907 s 史桂梅:溶胶-凝胶法Al2O3纳米粉体的制备及表征,《沈阳工业大学学报》


| 联系我们 | 网站地图 | 版权声明 |

版权:中国科学院 主办:中国科学院科技促进发展局 承办:中国科学院成都文献情报中心 蜀ICP备05003827号-12

建议使用1024×768 分辨率 IE6.0以上版本浏览器