专利名称 ---【 大口径平面镜面形检测装置 】

基本信息
申请号
CN201120520376.7
申请日
2011.12.09
公开(公告)号
CN202471018U
公开(公告)日
2012.10.03
申请(专利权)人
中国科学院西安光学精密机械研究所
申请人地址
710119 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号
发明人
段亚轩;陈永权;赵建科;李坤;龙江波; 专利类型 实用新型
摘要
本实用新型涉及一种大口径平面镜面形检测装置,包括激光器、吸收体、分光镜、标准球面反射镜、探测单元以及控制与采集计算机;分光镜设置于激光器的出射光路上,分光镜将入射至分光镜的入射光分为透射光以及反射光;吸收体设置在经分光镜后的反射光路上;标准球面反射镜设置在经分光镜后的透射光路上,标准球面反射镜将入射至标准球面反射镜的入射光反射至分光镜并由分光镜反射至探测单元;控制与采集计算机与探测单元相连。本实用新型提出了一种利用光纤激光器与哈特曼波前传感器来对大口径平面镜面形检测的装置,解决了大口径平面镜面形的测试问题,能够有效的测试大口径平面镜的面形,并很好的保证了测试精度。
主权项
一种大口径平面镜面形检测装置,其特征在于:所述大口径平面镜面形检测装置包括激光器、吸收体、分光镜、标准球面反射镜、探测单元以及控制与采集计算机;所述分光镜设置于激光器的出射光路上,所述分光镜将入射至分光镜的入射光分为透射光以及反射光;所述吸收体设置在经分光镜后的反射光路上;所述标准球面反射镜设置在经分光镜后的透射光路上,所述标准球面反射镜将入射至标准球面反射镜的入射光反射至分光镜并由分光镜反射至探测单元;所述控制与采集计算机与探测单元相连。

 

IPC信息
IPC主分类号
G01B11/24(2006.01)I
IPC分类号
G01B11/24(2006.01)I

 

法律状态信息
法律状态公告日
2014.05.21
法律状态
避免重复授权放弃专利权 法律状态信息
避免重复授权放弃专利权 IPC(主分类):G01B 11/24 申请日:20111209 授权公告日:20121003 放弃生效日:20140521
法律状态公告日
2012.10.03
法律状态
授权 法律状态信息
授权

 

代理信息
代理机构名称
西安智邦专利商标代理有限公司 61211
代理人姓名
姚敏杰

 

被引专利信息
引用阶段 被引时间 专利号 申请人 公开时间

 

被引非专利信息
引用阶段 被引时间 被引文档类型 被引文档信息
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