专利名称 ---【 一种高k金属栅表面形貌仿真的方法及系统 】

基本信息
申请号
CN201610116482.6
申请日
2016.03.02
公开(公告)号
CN107153718A
公开(公告)日
2017.09.12
申请(专利权)人
中国科学院微电子研究所
申请人地址
100029 北京市朝阳区北土城西路3号
发明人
徐勤志;陈岚;刘宏伟;方晶晶 专利类型 发明专利
摘要
本发明公开了一种高k金属栅表面形貌仿真的方法及系统,包括:根据工艺制程将高k金属栅CMP工艺流程依序划分成多个子流程,得到子流程序列;根据各子流程中的工艺构建对应各子流程的工艺模型;依序利用所述子流程序列中子流程的工艺模型仿真所述子流程,得到仿真后的表面形貌。由于该方法能考虑工艺流程中各工艺和初始表面形貌对最终研磨表面形貌的影响,可以对高k金属栅的表面形貌进行精确仿真。
主权项
一种高k金属栅表面形貌仿真的方法,其特征在于,包括:根据工艺制程将高k金属栅CMP工艺流程依序划分成多个子流程,得到子流程序列;根据各子流程中的工艺构建对应各子流程的工艺模型;依序利用所述子流程序列中子流程的工艺模型对所述子流程进行仿真,得到仿真后的表面形貌,仿真过程包括:获取当前子流程待处理初始表面形貌;将所述待处理初始表面形貌、工艺参数输入当前子流程的工艺模型,对当前子流程工艺进行模拟,得到当前子流程仿真后的表面形貌,并将当前子流程仿真后的表面形貌作为下一个子流程待处理初始表面形貌。

 

IPC信息
IPC主分类号
G06F17/50(2006.01)I
IPC分类号
G06F17/50(2006.01)I

 

法律状态信息
法律状态公告日
2017.10.10
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F 17/50 申请日:20160302
法律状态公告日
2017.09.12
法律状态
公开 法律状态信息
公开

 

代理信息
代理机构名称
北京维澳专利代理有限公司 11252
代理人姓名
周放;江怀勤
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