专利名称 ---【 一种用于微流体系统中的对准键合结构及其制作方法 】

基本信息
申请号
CN201610121968.9
申请日
2016.03.03
公开(公告)号
CN107150996A
公开(公告)日
2017.09.12
申请(专利权)人
中国科学院微电子研究所
申请人地址
100029 北京市朝阳区北土城西路3号
发明人
王欢;李超波;路鑫超;刘虹遥;夏洋 专利类型 发明专利
摘要
本发明公开了一种用于微流体系统中的对准键合结构及其制作方法,该方法利用硬质透光材料对聚合物进行固定,通过硬质透光材料与基底材料的对准和键合,进而实现聚合物与基底材料的对准键合,避免了由于聚合物的材料本身引起的对准键合不精确的问题,提高了键合的对准精度。工艺简单,提高了键合的效率。
主权项
一种用于微流体系统中的对准键合结构的制作方法,其特征在于,所述方法包括:利用硬质透光材料对聚合物进行固定;将所述硬质透光材料与基底材料进行对准和键合,进而实现所述聚合物与所述基底材料的对准键合。

 

IPC信息
IPC主分类号
B81C3/00(2006.01)I
IPC分类号
B81C3/00(2006.01)I;B81B1/00(2006.01)I

 

法律状态信息
法律状态公告日
2017.10.10
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
实质审查的生效 IPC(主分类):B81C 3/00 申请日:20160303
法律状态公告日
2017.09.12
法律状态
公开 法律状态信息
公开

 

代理信息
代理机构名称
北京华沛德权律师事务所 11302
代理人姓名
房德权
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