专利名称 ---【 一种啁啾数字递变结构的低缺陷异变缓冲层 】

基本信息
申请号
CN201611153882.0
申请日
20161214
公开(公告)号
CN106601839B
公开(公告)日
20170426
申请(专利权)人
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请人地址
200050 上海市长宁区长宁路865号5号楼505室
发明人
马英杰;顾溢;张永刚; 专利类型 发明专利
摘要
本发明涉及一种啁啾数字递变结构的低缺陷异变缓冲层,所述缓冲层包含N个层厚相同的周期性过渡层,每个周期内均包含A、B两层材料,且A、B材料的厚度比从N:1依次递变到1:N。本发明利用啁啾数字递变的周期性界面对位错缺陷传递的阻挡效应,实现异变缓冲层表面附近缺陷密度的显著降低,材料结晶质量显著提高,且具有可同时实现晶格和能带双过渡的功能;有望广泛应用于提升Si、GaAs、InP、GaSb等衬底上的异质失配结构激光器、探测器的器件性能。
主权项
1.一种啁啾数字递变结构的低缺陷异变缓冲层,其特征在于:所述缓冲层包含N个层厚相同的周期性过渡层,每个周期内均包含A、B两层材料,且A、B材料的厚度比从N:1依次递变到1:N;其中,N≥2,A材料的晶格常数为a,B材料的晶格常数为b,a与b不同。

 

IPC信息
IPC主分类号
H01L31/0352

 

法律状态信息
法律状态公告日
20180309
法律状态
授权 法律状态信息
CN201611153882 20180309 授权 授权
法律状态公告日
20170524
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
CN201611153882 20170524 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 31/0352申请日:20161214
法律状态公告日
20170426
法律状态
公开 法律状态信息
CN201611153882 20170426 公开 公开

 

代理信息
代理机构名称
上海泰能知识产权代理事务所 31233
代理人姓名
黄志达;魏峯

 

被引专利信息
引用阶段 被引时间 专利号 申请人 公开时间

 

被引非专利信息
引用阶段 被引时间 被引文档类型 被引文档信息
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