专利名称 ---【 一种碲锌镉基碲镉汞红外焦平面器件复合结构及制备方法 】

基本信息
申请号
CN201710760261.7
申请日
2017.08.30
公开(公告)号
CN107665865A
公开(公告)日
2018.02.06
申请(专利权)人
中国科学院上海技术物理研究所
申请人地址
200083 上海市虹口区玉田路500号
发明人
廖清君;胡晓宁; 专利类型 发明专利
摘要
本发明公开了一种碲锌镉基碲镉汞红外焦平面器件复合结构及制备方法。本发明中的复合结构包括碲锌镉衬底、碲镉汞红外光敏芯片、硅读出电路、宝石电极基板、和宝石形变平衡层。本发明采用常规制备方法获得碲锌镉基碲镉汞焦平面模块,然后在模块的硅读出电路背面涂敷一层聚氨酯改性环氧树脂,贴上一层宝石形变平衡层,其中宝石形变平衡层厚度与宝石电极基板一致,尺寸与硅读出电路尺寸一致;然后在宝石形变平衡层上施加4~5牛顿的力,在22~28℃下固化168~192小时。采用本发明中的方法制备的复合结构有效降低间接倒焊互连碲锌镉基碲镉汞红外焦平面器件在低温下工作的热失配应力,减小由于热失配造成的碲镉汞芯片变形,提高器件的低温可靠性。
主权项
一种碲锌镉基碲镉汞红外焦平面器件复合结构,包括碲锌镉衬底(1)、碲镉汞红外光敏芯片(2)、硅读出电路(6)、宝石电极基板(4)和宝石形变平衡层(8),其特征在于:生长在碲锌镉衬底(1)上的碲镉汞红外光敏芯片(2)与硅读出电路(6)分别倒焊在宝石电极基板(4)上,硅读出电路(6)背面通过聚氨酯改性环氧树脂(7)固定一层宝石片为宝石形变平衡层(8),宝石形变平衡层(8)厚度与宝石电极基板(4)一致,宝石形变平衡层(8)尺寸与硅读出电路(6)尺寸一致。

 

IPC信息
IPC主分类号
H01L23/00(2006.01)I
IPC分类号
H01L23/00(2006.01)I;H01L27/144(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I

 

法律状态信息
法律状态公告日
2018.03.06
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 23/00 申请日:20170830
法律状态公告日
2018.02.06
法律状态
公开 法律状态信息
公开

 

代理信息
代理机构名称
上海沪慧律师事务所 31311
代理人姓名
李秀兰
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