专利名称 ---【 探针、制备方法及其在扫描电容显微镜中的应用 】

基本信息
申请号
CN201810215116.5
申请日
2018.03.15
公开(公告)号
CN108802434A
公开(公告)日
2018.11.13
申请(专利权)人
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所;中国科学院大学
申请人地址
215125 江苏省苏州市工业园区独墅湖高教区若水路398号
发明人
杜凯;徐耿钊;刘争晖;钟海舰;宋文涛;陈科蓓;张春玉;徐科; 专利类型 发明专利
摘要
本发明提供一种探针、制备方法及其在扫描电容显微镜中的应用,所述探针包括:一悬臂梁基底及一设置在所述悬臂梁基底上表面的针尖,在所述针尖上覆盖有一导电层,在所述导电层上覆盖有一介质层,所述导电层、所述介质层与待测的半导体样品形成导体?氧化物?半导体电容器。本发明的优点在于:第一,简化扫描电容显微镜操作过程,提高扫描电容显微镜测试样品的兼容性;第二,探针与样品接触直接形成MOS电容器,增加介质层的电容信号对测量结果的贡献,本发明提供的新型探针对于扫描电容显微镜在检测电子器件的结构和电学性能上具有重要作用。
主权项
1.一种用于扫描电容显微镜的探针,其特征在于,包括:一悬臂梁基底及一设置在所述悬臂梁基底上表面的针尖,在所述针尖上覆盖有一导电层,在所述导电层上覆盖有一介质层,所述导电层、所述介质层与待测的半导体样品形成导体?氧化物?半导体电容器。

 

IPC信息
IPC主分类号
G01Q60/46(2010.01)I
IPC分类号
G01Q60/46(2010.01)I;G01Q60/48(2010.01)I

 

法律状态信息
法律状态公告日
2018.11.13
法律状态
公开 法律状态信息
公开
法律状态公告日
2018.12.07
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
实质审查的生效 IPC(主分类):G01Q 60/46 申请日:20180315

 

代理信息
代理机构名称
上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218
代理人姓名
翟羽

 

被引专利信息
引用阶段 被引时间 专利号 申请人 公开时间

 

被引非专利信息
引用阶段 被引时间 被引文档类型 被引文档信息
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