专利名称 ---【 B位掺杂铋铁氧体固溶体薄膜及其制备方法和应用 】

基本信息
申请号
CN201810763918.X
申请日
2018.07.12
公开(公告)号
CN108911730A
公开(公告)日
2018.11.30
申请(专利权)人
深圳先进技术研究院
申请人地址
518000 广东省深圳市南山区西丽街道大学城学苑大道1068号
发明人
刘聪;贾婷婷;程振祥;姚竣翔;樊子冉; 专利类型 发明专利
摘要
本发明公开了一种B位掺杂铋铁氧体固溶体薄膜及制备方法和应用,制备方法包括:制备B位掺杂铋铁氧体固溶体溶胶;将固溶体溶胶于衬底上涂布形成溶胶涂层;将衬底上的溶胶涂层进行热固处理;将热固处理后的溶胶涂层进行退火处理;其中,退火处理中通过快速升温后保持,提升薄膜表面的平整度,控制和提升材料的结晶性;然后再缓慢降温促进薄膜形成面外单畴。本发明的以上方法,对传统铁酸铋溶胶凝胶制备薄膜技术进行改良,通过B位掺杂,与钛酸钙混合获得准同型相界的压电增强效应;通过调整退火过程,制备的高质量外延室温多铁薄膜具备良好的高压电性,室温多铁性及单晶外延性。
主权项
1.一种B位掺杂铋铁氧体固溶体薄膜制备方法,其特征在于,包括如下步骤:制备B位掺杂铋铁氧体固溶体溶胶;将所述固溶体溶胶于衬底上涂布形成溶胶涂层;将所述衬底上的溶胶涂层进行热固处理;将所述热固处理后的溶胶涂层进行退火处理;其中,所述退火处理的温度为700~900℃,所述退火处理的降温过程中降温速率为0.5~1℃/s。

 

IPC信息
IPC主分类号
C04B35/26(2006.01)I
IPC分类号
C04B35/26(2006.01)I;C04B35/624(2006.01)I

 

法律状态信息
法律状态公告日
2018.12.25
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/26 申请日:20180712
法律状态公告日
2018.11.30
法律状态
公开 法律状态信息
公开

 

代理信息
代理机构名称
深圳国新南方知识产权代理有限公司 44374
代理人姓名
雷青云

 

被引专利信息
引用阶段 被引时间 专利号 申请人 公开时间

 

被引非专利信息
引用阶段 被引时间 被引文档类型 被引文档信息
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