专利名称 ---【 一种基于头发上的柔性紫外光电探测器及其制备方法 】

基本信息
申请号
CN201810877956.8
申请日
2018.08.03
公开(公告)号
CN109103336A
公开(公告)日
2018.12.28
申请(专利权)人
中国科学院金属研究所
申请人地址
110016 辽宁省沈阳市沈河区文化路72号
发明人
刘宝丹;张兴来;李晶;杨文进;张偲;刘小元;王柯;周洋;姜辛; 专利类型 发明专利
摘要
本发明属于半导体器件技术领域,特别是指一种基于头发上的柔性紫外光电探测器及其制备方法。该探测器自内而外依次为头发基底、Al掺杂ZnO(AZO)薄膜、n型ZnO纳米棒阵列、p型PVK层、PEDOT:PSS薄膜和金属Ag电极。本发明中所设计的有机/无机p?n异质结结构有着精确的能级匹配关系,可以实现光生载流子的有效分离以及快速输运,具有很快的光响应时间和很高的光响应度。更重要的是,本发明利用头发这种质量轻、柔韧性好、无成本、可再生、易降解和空气中稳定的材料作为柔性基底,大大降低器件制作成本,该器件制作工艺简单、成本低、灵敏度高、性能稳定。
主权项
1.一种基于头发上的柔性紫外光电探测器,其特征在于,自内而外依次包括头发基底、AZO薄膜电子传输层、ZnO纳米棒阵列、PVK层、PEDOT:PSS空穴传输层、金属Ag电极,AZO为掺杂Al的ZnO,PVK为聚(9?乙烯基咔唑),PEDOT:PSS为聚乙撑二氧噻吩?聚(苯乙烯磺酸盐);在头发基底的表面沉积AZO薄膜电子传输层,形成头发/AZO薄膜异质结结构;在AZO薄膜电子传输层的表面,生长垂直于AZO薄膜电子传输层表面的ZnO纳米棒阵列,形成头发/AZO薄膜/ZnO纳米棒异质结结构;在ZnO纳米棒阵列的表面生长PVK层,形成头发/AZO薄膜/ZnO纳米棒/PVK异质结结构;在PVK层的表面生长PEDOT:PSS空穴传输层,形成头发/AZO薄膜/ZnO纳米棒/PVK/PEDOT:PSS异质结结构;在头发/AZO薄膜/ZnO纳米棒/PVK/PEDOT:PSS异质结结构两端分别沉积金属Ag电极,形成柔性紫外光电探测器。

 

IPC信息
IPC主分类号
H01L51/46(2006.01)I
IPC分类号
H01L51/46(2006.01)I;H01L51/42(2006.01)I;H01L51/44(2006.01)I;H01L51/48(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I

 

法律状态信息
法律状态公告日
2018.12.28
法律状态
公开 法律状态信息
公开

 

代理信息
代理机构名称
沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234
代理人姓名
张志伟
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