专利名称 ---【 适用于大口径光学元件的抛光液供给回收抛光工具头装置 】

基本信息
申请号
CN201911009252.X
申请日
20191023
公开(公告)号
CN110732933A
公开(公告)日
20200131
申请(专利权)人
中国科学院光电技术研究所
申请人地址
610209 四川省成都市双流350信箱
发明人
辛强;刘海涛;万勇建; 专利类型 发明专利
摘要
本发明公开了一种适用于大口径光学元件的抛光液供给回收抛光工具头装置,涉及光学元件高效抛光技术领域。抛光液供给回收抛光工具头装置采用沿抛光盘轴向中通孔进液方式通入抛光液,并在抛光盘边缘外侧将抛光液回收,抛光液封闭在装置内部,显著增大了抛光液的循环利用率。同时本装置的抛光垫采用径向和周向凹槽,使抛光液在输送压力和工具自转离心力作用下进入加工区域,工具头自转转速越高,越利于抛光液进入加工区域,与自转方向相同的螺旋槽还能有效增加抛光磨料在加工区域的驻留时间,提高了抛光液向加工区域的扩散渗透性和均匀分布性,可有效提升材料去除效率和均匀性,保证去除函数的稳定一致,提升光学加工确定性。
主权项
1.一种适用于大口径光学元件的抛光液供给回收抛光工具头装置,其特征在于:该装置包括抛光液回收环(1)、球头轴(2)、连接螺栓(3)、内胶环(4)、外胶环(5)、抛光垫背板(6)和抛光垫(7),其中,所述球头轴(2)通过螺纹(21)与提供公自转和压力的传动机构相连接,球头轴(2)可以实现回转运动和沿轴向运动,球头轴(2)末端的球头(25)通过连接螺栓(3)的内螺纹(32)与抛光垫背板(6)上的外螺纹(62)相连,球头轴(2)的拨销(24)与抛光垫背板(6)的拨销沉槽(61)配合,球头(25)与抛光垫背板(6)的球窝(63)相配合,抛光垫(7)胶合在抛光垫背板(6)上,传动机构提供的运动通过拨销(24)传递给抛光垫背板(6),实现抛光垫背板(6)的公自转运动,抛光垫背板(6)携带抛光垫(7)运动,通过抛光垫(7)与被加工镜面之间的相对运动实现材料去除;所述抛光液回收环(1)使用螺栓穿过沉孔(11)固定在运动输出机构箱体上,内胶环(4)通过弹性力张紧在抛光液回收环(1)的内台阶,内胶环(4)的下边缘与抛光垫背板(6)的上表面配合,外胶环(5)通过弹性力张紧在抛光液回收环的外侧台阶上,外胶环(5)的下表面与抛光盘底面平齐;所述抛光液回收环(1)为静止装置,球头轴(2)、连接螺栓(3)、抛光垫背板(6)和抛光垫(7)通过螺纹、拨销和胶合作用连接在一起,形成运动机构,可以实现绕球头轴(2)轴线的旋转运动和沿该轴线的上下运动,轴向的上下运动一般在5-50mm范围内;所述抛光垫(7)上开有径向凹槽(72)以及环形凹槽(73),其中径向凹槽可以为沿径向的射线槽,也可以为与抛光垫(7)旋转方向相反或相同的螺旋凹槽。

 

IPC信息
IPC主分类号
B24B13/00

 

法律状态信息
法律状态公告日
20200131
法律状态
公开 法律状态信息
CN201911009252 20200131 公开 公开
法律状态公告日
20200225
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
CN201911009252 20200225 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):B24B13/00

 

代理信息
代理机构名称
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代理人姓名


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