专利名称 ---【 漂移探测器及其加工方法 】

基本信息
申请号
CN202010543831.9
申请日
20200615
公开(公告)号
CN111668323A
公开(公告)日
20200915
申请(专利权)人
中国科学院微电子研究所
申请人地址
100029 北京市朝阳区北土城西路3号
发明人
姜帅;陶科;贾锐;刘新宇;金智;张立军;王冠鹰;欧阳晓平; 专利类型 发明专利
摘要
本说明书提供一种漂移探测器及其加工方法,漂移探测器包括:衬底;设置在所述衬底两个表面上,用于使所述衬底形成漂移区的的漂移电极;设置在所述衬底两个表面,并且位于所述漂移电极同侧的集电电极;所述集电电极用于收集经由所述漂移区的载流子。本说明书提供的漂移探测器在衬底的两个表面均设置有集电电极,而不再设置用于使得载流子向集电电极垂直移动的反向偏压。因为衬底的两个表面均设置集电集电电极,漂移电子在集电电极的电场作用下向集电电极漂移;因为没有反向偏压的影响,光生电子漂移因电压设置不合理而造成的损失。
主权项
1.一种漂移探测器,其特征在于,包括:衬底;设置在所述衬底两个表面上,用于使所述衬底形成漂移区的的漂移电极;设置在所述衬底两个表面,并且位于所述漂移电极同侧的集电电极;所述集电电极用于收集经由所述漂移区的载流子。

 

IPC信息
IPC主分类号
H01L31/0224

 

法律状态信息
法律状态公告日
20200915
法律状态
公开 法律状态信息
CN202010543831 20200915 公开 公开
法律状态公告日
20201013
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
CN202010543831 20201013 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/0224

 

代理信息
代理机构名称
北京天达知识产权代理事务所(普通合伙) 11386
代理人姓名
张通


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