专利名称 ---【 亚分辨率辅助图形添加方法及装置、计算机可读存储介质 】

基本信息
申请号
CN202010981385.X
申请日
20200917
公开(公告)号
CN112099319A
公开(公告)日
20201218
申请(专利权)人
中国科学院微电子研究所
申请人地址
100029 北京市朝阳区北土城西路3号
发明人
高澎铮;韦亚一;张利斌; 专利类型 发明专利
摘要
本发明公开了亚分辨率辅助图形添加方法及装置、计算机可读存储介质。该方法包括:向初始的版图上添加亚分辨率辅助图形,在已添加的多个亚分辨率辅助图形符合设定的条件下分别计算多个亚分辨率辅助图形的评价值以及基于多个亚分辨率辅助图形的评价值清理相应的亚分辨率辅助图形,否则继续添加亚分辨率辅助图形;最后输出版图。该装置可包括辅助图形添加模块、评价值计算模块、辅助图形清理模块及最终版图输出模块。本发明创新地在亚分辨率辅助图形的添加过程中进行冲突清理,可有效避免所有亚分辨率辅助图形添加完成后再进行冲突清理的工作量和复杂度,而且本发明还能够获得更大的光刻工艺窗口,进而明显地提高目标图形的光刻成像对比度。
主权项
1.一种亚分辨率辅助图形添加方法,其特征在于,包括:向初始的版图上添加亚分辨率辅助图形;在已添加的多个亚分辨率辅助图形符合设定的条件下分别计算所述多个亚分辨率辅助图形的评价值,以及基于所述多个亚分辨率辅助图形的评价值清理相应的亚分辨率辅助图形;否则继续添加亚分辨率辅助图形;在所有位置的亚分辨率辅助图形添加完成后输出版图。

 

IPC信息
IPC主分类号
G03F7/20

 

法律状态信息
法律状态公告日
20201218
法律状态
公开 法律状态信息
CN202010981385 20201218 公开 公开

 

代理信息
代理机构名称
北京辰权知识产权代理有限公司 11619
代理人姓名
刘广达


| 联系我们 | 网站地图 | 版权声明 |

版权:中国科学院 主办:中国科学院科技促进发展局 承办:中国科学院成都文献情报中心 蜀ICP备05003827号-12

建议使用1024×768 分辨率 IE6.0以上版本浏览器