专利名称 ---【 一种生长高定向BCN纳米管材料的方法 】

基本信息
申请号
CN99109627.4
申请日
1999.07.02
公开(公告)号
CN1237648
公开(公告)日
1999.12.08
申请(专利权)人
中国科学院物理研究所谷东梅
申请人地址
100080北京市603信箱
发明人
王恩哥;于杰;郭建东
专利类型
发明专利
摘要
本发明涉及用化学气相沉积法合成纳米材料及 其工艺条件。本发明采用直流辉光放电等离子体定向工艺,用 偏压辅助热丝化学气相沉积设备,在金属基片上直接生长出具 有一系列不同电学特性的、取向高度一致的BCN纳米管材料。 本发明所提供的纳米管材料将成为一种微电子和光电子材料, 并可在场发射等领域获得直接应用。本发明提供的方法简便易 行,适合推广到工业应用中进行大面积生长。
主权项
1,一种生长高定向BCN纳米管材料的方法,其特征在于:包括以下 步骤: (1)将对纳米管形核及生长有催化作用的金属制作的基片(5)进行 机械抛光,去除表面的氧化层,然后用有机溶剂清洗; (2)把处理好的金属基片(5)放在已知的偏压辅助热丝化学气相沉 积设备中的样品台(6)上,盖好真空室(2)的舱门,抽本底真空达 到1Pa或更低; (3)从反应气体入口(1)按一定的流量比通入碳氢气体、含氮气体 和含硼气体的混合物作为反应物,通入的含硼气体占反应气体总流量 的1%以下,碳氢气体占反应气体总流量的50%以下,其余为含氮气 体,反应气体总流量控制在10-200标准立方厘米/分钟(sccm)之 间; (4)维持直流辉光放电的适宜压强,为1K-5KPa; (5)加热反应室内的热丝(4)达1650-1950℃,热丝(4)用W丝、 Mo丝或Ta丝制成,置于样品台上方5~10mm,热丝(4)可以有多 个以与样品台(6)相匹配,它们在平行于样品台的平面内均匀布置; (6)当生长室内达到热平衡,基片温度为400-650℃,在样品台(6) 上施加300-600V负偏压,使基片(5)与其上方的放电阳极(3) 之间产生直流辉光放电,放电电流为10-150mA。阳极(3)为由W、 Mo或Ta金属丝制作成网状或环状,此后基片上开始生长纳米管阵 列。

 

IPC信息
IPC主分类号
C23C16/30
IPC分类号
C23C16/30

 

法律状态信息
法律状态公告日
2006.09.06
法律状态
专利权的终止 未缴年费专利权终止 法律状态信息
专利权的终止 未缴年费专利权终止
法律状态公告日
2002.01.09
法律状态
授权 法律状态信息
授权
法律状态公告日
2000.04.19
法律状态
实质审查请求的生效 法律状态信息
实质审查请求的生效
法律状态公告日
1999.12.08
法律状态
公开 法律状态信息
公开

 

代理信息
代理机构名称
代理人姓名
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