| 发布日 | 1999（3） 1997（2） 1996（1） |
| 单位 |
中国科学院微电子中心（6）
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| 排序 | 申请日升序 申请日降序 |
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光掩模对准标记规范
标准号:GB/T 16524-1996 起草单位:中国科学院微电子中心
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掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则
标准号:GB/T 16879-1997 起草单位:中国科学院微电子中心
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光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
标准号:GB/T 16880-1997 起草单位:中国科学院微电子中心
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关键尺寸(CD)计量方法
标准号:GB/T 17864-1999 起草单位:中国科学院微电子中心
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焦深与最佳聚焦的测量规范
标准号:GB/T 17865-1999 起草单位:中国科学院微电子中心
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掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则
标准号:GB/T 17866-1999 起草单位:中国科学院微电子中心
