关键词:
高级检索
专利可视化检索
发布日
1997(2)
单位
中国科学院微电子中心(2)
排序
申请日升序
申请日降序
掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则
标准号:GB/T 16879-1997
起草单位:中国科学院微电子中心
光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
标准号:GB/T 16880-1997
起草单位:中国科学院微电子中心
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