| 申请年 |
2011（22）
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| 授权状态 | 授权（22） |
| 授权年 |
2012（22）
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| 最终法律状态 |
授权（12）
专利权的终止（7）
专利申请权、专利.（2）
授权后的其他有关.（1） |
| 公开年 |
2011（22）
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| 专利类型 | 发明专利（22） |
| 申请人 |
中国科学院上海光学精密机械研究所（22）
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| 排序 | 申请日升序 申请日降序 公开日升序 公开日降序 被引非专利数 被引专利数 被引总数 |
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[发明专利] 光纤包层光滤除器及其制造方法 - CN102255227A
申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2011 主分类号:H01S3/067
被引非专利数:0 被引专利数:34 被引总数:34
一种光纤包层光滤除器及其制造方法，该光纤包层光滤除器的结构是将单包层光纤的一段涂覆层或双包层光纤的一段涂覆层及外包层去掉，使用切割刀或者化学药剂将裸露出来的包层或内包层表面粗糙化，破坏泵浦光和... -
[发明专利] 石墨烯拉曼锁模激光器 - CN102104231A
申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2011 主分类号:H01S3/30
被引非专利数:0 被引专利数:18 被引总数:18
一种石墨烯拉曼锁模激光器，其特征在于：通过波长灵活的受激拉曼散射效应提供激光增益，结合饱和吸收波段宽广的石墨烯锁模器件实现锁模激光输出。整个装置由受激拉曼增益介质与石墨烯锁模器件相结合的机制构... -
[发明专利] 光刻投影物镜波像差检测系统及检测方法 - CN102200697A
申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2011 主分类号:G03F7/20
被引非专利数:0 被引专利数:10 被引总数:10
一种用于光刻机的基于空间像主成分拟合定心的光刻投影物镜波像差检测系统及检测方法，本发明通过主成分拟合找到空间像实测位置与名义位置的偏移量，从而得到空间像的主成分系数和波像差。所述方法首先是仿真... -
[发明专利] 激光光纤移频装置 - CN102200652A
申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2011 主分类号:G02F1/11
被引非专利数:0 被引专利数:8 被引总数:8
一种激光光纤移频装置，由第一光纤连接头、第二光纤连接头、第一非球面准直透镜、第二非球面准直透镜、偏振分光棱镜、λ/4波片、声光调制器、第一双凸透镜、光阑、第二双凸透镜、第一调整架、立方角反射镜... -
[发明专利] 传导冷却的高重复频率Nd:YAG单频激光器 - CN102208742B
申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2011 主分类号:H01S3/0941
被引非专利数:0 被引专利数:1 被引总数:1
一种传导冷却的高重复频率Nd:YAG单频激光器，利用改进的谐振探测方法获得了种子注入单频脉冲激光。激光谐振腔采用U形腔，两个高峰值功率的LD从端面泵浦激光晶体，利用高精度的TEC来给激光晶体控... -
[发明专利] 用于光刻照明的多分区光学位相板的设计方法 - CN102109676B
申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2011 主分类号:G02B27/00
被引非专利数:0 被引专利数:0 被引总数:0
一种用于光刻照明的多分区光学位相板的设计方法，其特点在于该方法包括下列步骤：①计算位相单元的尺寸l；②光学位相板分区大小d的选取；③入射光束和确定所需光束的光强分布并进行矩阵化处理；④对位相板... -
[发明专利] 多波长合成孔径激光成像雷达 - CN102230967B
申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2011 主分类号:G01S17/89
被引非专利数:0 被引专利数:0 被引总数:0
一种多波长合成孔径激光成像雷达，其构成是由一个时序的多波长啁啾的激光发射机和一个光学外差接收机所组成。激光发射机以一个空间通道或者多个空间通道的方式周期性发射不同起始波长的啁啾激光脉冲光束。光... -
[发明专利] TE偏振的双脊熔石英1×5分束光栅 - CN102156315B
申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2011 主分类号:G02B5/18
被引非专利数:0 被引专利数:0 被引总数:0
一种用于800纳米波长的TE偏振的双脊熔石英1×5分束光栅，该分束光栅的光栅周期为1830～1850纳米，每个光栅周期内两个脊宽分别为143～146纳米和500～508纳米，两脊之间距为594... -
[发明专利] 对射光束同轴误差的测量方法 - CN102226689B
申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2011 主分类号:G01B11/26
被引非专利数:0 被引专利数:0 被引总数:0
一种对射光束同轴误差的测量方法，该方法通过一个分束棱镜、二维平移调整器、角反射器、光强探测器和观测屏，可以测量两束对射重合光的重合误差，本发明方法具有设备简单、容易观测，测量方便，对射光束的同... -
[发明专利] 光刻机空间像噪声评估及滤波方法 - CN102221789B
申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2011 主分类号:G03F7/20
被引非专利数:0 被引专利数:0 被引总数:0
一种光刻机空间像噪声评估及滤波方法，包括下列步骤：采集测试标记的空间像；建立空间像噪声标准差和空间像理想光强；对所述的空间像噪声标准差进行主成分分析；利用最佳平滑因子对空间像进行二维样条平滑滤...
