| 申请年 | 2011（2） 2010（1） |
| 授权状态 | 授权（3） |
| 授权年 |
2012（3）
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| 最终法律状态 |
专利申请权、专利权的转移（3）
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| 公开年 |
2011（3）
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| 专利类型 | 发明专利（3） |
| 申请人 |
中国科学院上海光学精密机械研究所（3）
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| 排序 | 申请日升序 申请日降序 公开日升序 公开日降序 被引非专利数 被引专利数 被引总数 |
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[发明专利] 用于绝对距离测量的双频激光干涉仪及其测量方法 - CN102168944B
申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2010 主分类号:G01B9/02
被引非专利数:0 被引专利数:0 被引总数:0
一种用于绝对距离测量的双频激光干涉仪及其测量方法，该双频激光干涉仪的结构包括光源、光纤耦合器、隔离器、准直器、光电探测器、压电陶瓷、数据采集卡和计算机。所述的光源是两个波长不相等的半导体激光器... -
[发明专利] 用于光刻照明的多分区光学位相板的设计方法 - CN102109676B
申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2011 主分类号:G02B27/00
被引非专利数:0 被引专利数:0 被引总数:0
一种用于光刻照明的多分区光学位相板的设计方法，其特点在于该方法包括下列步骤：①计算位相单元的尺寸l；②光学位相板分区大小d的选取；③入射光束和确定所需光束的光强分布并进行矩阵化处理；④对位相板... -
[发明专利] 光纤包层光滤除器及其制造方法 - CN102255227A
申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所 申请年:2011 主分类号:H01S3/067
被引非专利数:0 被引专利数:34 被引总数:34
一种光纤包层光滤除器及其制造方法，该光纤包层光滤除器的结构是将单包层光纤的一段涂覆层或双包层光纤的一段涂覆层及外包层去掉，使用切割刀或者化学药剂将裸露出来的包层或内包层表面粗糙化，破坏泵浦光和...
