申请年 | 2011(22) 2010(9) |
授权状态 | 授权(31) |
授权年 |
2012(31)![]() |
最终法律状态 |
授权(17)
专利权的终止(10)
专利申请权、专利.(3)
授权后的其他有关.(1) |
公开年 |
2011(31)![]() |
专利类型 | 发明专利(31) |
申请人 |
中国科学院上海光学精密机械研究所(31)![]() |
排序 | 申请日升序 申请日降序 公开日升序 公开日降序 被引非专利数 被引专利数 被引总数 |
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[发明专利] 用于光刻照明的多分区光学位相板的设计方法 - CN102109676B
申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所
申请年:2011
主分类号:G02B27/00
被引非专利数:0
被引专利数:0
被引总数:0
一种用于光刻照明的多分区光学位相板的设计方法,其特点在于该方法包括下列步骤:①计算位相单元的尺寸l;②光学位相板分区大小d的选取;③入射光束和确定所需光束的光强分布并进行矩阵化处理;④对位相板... -
[发明专利] 多波长合成孔径激光成像雷达 - CN102230967B
申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所
申请年:2011
主分类号:G01S17/89
被引非专利数:0
被引专利数:0
被引总数:0
一种多波长合成孔径激光成像雷达,其构成是由一个时序的多波长啁啾的激光发射机和一个光学外差接收机所组成。激光发射机以一个空间通道或者多个空间通道的方式周期性发射不同起始波长的啁啾激光脉冲光束。光... -
[发明专利] 达曼波带片 - CN102062887B
申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所
申请年:2010
主分类号:G02B5/18
被引非专利数:0
被引专利数:0
被引总数:0
本发明涉及一种达曼波带片,其特征在于在传统的二元纯位相型(0,π)波带片结构相对于径向坐标的平方的每个周期中加入位相调制细节,从而在一定范围内可以产生轴向等强度的任意数目的焦斑分布。这种沿着光... -
[发明专利] TE偏振的双脊熔石英1×5分束光栅 - CN102156315B
申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所
申请年:2011
主分类号:G02B5/18
被引非专利数:0
被引专利数:0
被引总数:0
一种用于800纳米波长的TE偏振的双脊熔石英1×5分束光栅,该分束光栅的光栅周期为1830~1850纳米,每个光栅周期内两个脊宽分别为143~146纳米和500~508纳米,两脊之间距为594... -
[发明专利] 对射光束同轴误差的测量方法 - CN102226689B
申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所
申请年:2011
主分类号:G01B11/26
被引非专利数:0
被引专利数:0
被引总数:0
一种对射光束同轴误差的测量方法,该方法通过一个分束棱镜、二维平移调整器、角反射器、光强探测器和观测屏,可以测量两束对射重合光的重合误差,本发明方法具有设备简单、容易观测,测量方便,对射光束的同... -
[发明专利] 光刻机空间像噪声评估及滤波方法 - CN102221789B
申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所
申请年:2011
主分类号:G03F7/20
被引非专利数:0
被引专利数:0
被引总数:0
一种光刻机空间像噪声评估及滤波方法,包括下列步骤:采集测试标记的空间像;建立空间像噪声标准差和空间像理想光强;对所述的空间像噪声标准差进行主成分分析;利用最佳平滑因子对空间像进行二维样条平滑滤... -
[发明专利] 合成孔径激光成像雷达光学桥接外差接收和复值处理系统 - CN102004243B
申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所
申请年:2010
主分类号:G01S7/48
被引非专利数:0
被引专利数:0
被引总数:0
一种合成孔径激光成像雷达光学桥接外差接收和复值处理系统,用于在合成孔径激光成像雷达的光学接收天线之后的目标回波信号的光学外差接收和光学处理,核心原理是采用2×4 90°光学桥接器实现两路外差平... -
[发明专利] 分布式光纤振动传感器 - CN102168808B
申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所
申请年:2011
主分类号:G01H9/00
被引非专利数:0
被引专利数:0
被引总数:0
一种分布式光纤振动传感器,特征在于其构成是基于赛格纳克干涉仪和双马赫-泽德干涉仪的干涉原理的优化组合,构成包括信号处理装置、第一传感光纤、第二传感光纤、第三传感光纤、宽带光源、窄带光源、光环形... -
[发明专利] 掺镱氟磷酸盐激光玻璃及其制备方法 - CN101973706B
申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所
申请年:2010
主分类号:C03C3/247
被引非专利数:0
被引专利数:0
被引总数:0
一种掺镱氟磷酸盐激光玻璃及其制备方法,该玻璃由磷酸盐和氟化物以及少量氧化物组成,其中阳离子的摩尔百分组成为:P5+:21.0~35.0mol%,Al3+:10.0~28.0mol%,Mg2+:... -
[发明专利] 节能灯荧光粉厚度和均匀性测定仪 - CN102183207B
申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所
申请年:2011
主分类号:G01B11/06
被引非专利数:0
被引专利数:0
被引总数:0
一种节能灯管内壁荧光粉均匀性测量装置,其特征在于它由计算机、多功能数据卡、前置放大器、测量光探测器、参考光探测器、旋转转台、转台驱动器、激光光源、半透半反射镜、待测灯管组成。其中待测灯管被装夹...
