| 申请年 |
2011（6）
2010（59）
2009（36）
2008（8）
2007（8）
2006（1）
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| 授权状态 | 授权（118） |
| 授权年 |
2012（118）
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| 最终法律状态 |
授权（73）
授权后的其他有关.（17）
专利权的终止（15）
专利申请权、专利.（11） 专利实施许可合同.（2） |
| 公开年 |
2012（2）
2011（32）
2010（60）
2009（16）
2008（5）
2007（3）
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| 专利类型 | 发明专利（116） 实用新型（2） |
| 申请人 |
中国科学院上海微系统与信息技术研究所（118）
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| 排序 | 申请日升序 申请日降序 公开日升序 公开日降序 被引非专利数 被引专利数 被引总数 |
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[发明专利] 一种制备石墨烯粉体的方法 - CN101993065A
申请人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所 申请年:2010 主分类号:C01B31/04
被引非专利数:0 被引专利数:56 被引总数:56
本发明涉及一种规模化制备石墨烯粉体的方法，其特征在于首先，将氧化石墨均匀剥离成氧化石墨烯悬浮溶液，然后，利用喷雾干燥技术，包括喷雾热解干燥和喷雾冷冻干燥，使氧化石墨烯溶液雾化后去除溶剂得到氧化... -
[发明专利] 对称组合弹性梁结构电容式微加速度传感器及制作方法 - CN101858929A
申请人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所 申请年:2010 主分类号:G01P15/125
被引非专利数:0 被引专利数:39 被引总数:39
本发明涉及对称组合弹性梁结构电容式微加速度传感器及其制作方法。加速度传感器由一个对称的中心质量块、外部支撑框架、中心质量块与外部支撑框架相连接的八根对称直梁、两个对称框架梁、八根对称L梁连接在... -
[发明专利] 一种制备单层氧化石墨烯水溶液的方法 - CN101973544A
申请人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所 申请年:2010 主分类号:C01B31/04
被引非专利数:0 被引专利数:29 被引总数:29
本发明涉及一种制备单层氧化石墨烯水溶液的方法，其特征在于第1步将干燥后的氧化石墨烯在微波照射下预先发生部分剥离；第2步，将经部分剥离处理后的氧化石墨加入到去离子水中，再加入分散剂，经搅拌、振荡... -
[发明专利] 对称倾斜折叠梁结构电容式微加速度传感器 - CN102128953A
申请人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所 申请年:2010 主分类号:G01P15/125
被引非专利数:0 被引专利数:27 被引总数:27
本发明涉及一种对称倾斜折叠梁结构电容式微加速度传感器。所述的加速度传感器由一个对称的中心质量块、外部支撑框架、中心质量块与外部支撑框架相连接的八根对称倾斜折叠梁结构以及上、下盖板组成。对称的中... -
[发明专利] 一种非致冷热电堆红外探测器及制作方法 - CN101776483A
申请人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所 申请年:2009 主分类号:G01J5/12
被引非专利数:0 被引专利数:26 被引总数:26
本发明涉及一种非致冷热电堆红外探测器及制作方法，其特征在于在非致冷热电堆红外探测器中的红外吸收区上制作了一个微型加热器。由于微型加热器的制作工艺与热电堆的制作工艺完全兼容，两者实现了同一芯片集... -
[发明专利] 一种用于毫米波全息成像安检系统的射频收发前端 - CN101866018A
申请人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所 申请年:2010 主分类号:G01V3/30
被引非专利数:0 被引专利数:23 被引总数:23
本发明涉及一种用于毫米波全息成像安检系统的射频收发前端，包括毫米波压控振荡器、毫米波低噪声放大器和毫米波正交混频器，毫米波压控振荡器与毫米波正交混频器相连；毫米波低噪声放大器与毫米波正交混频器... -
[发明专利] 基于空间相关性的磁场动态补偿系统及方法 - CN101893693A
申请人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所 申请年:2010 主分类号:G01R33/387
被引非专利数:0 被引专利数:23 被引总数:23
本发明涉及一种基于空间相关性的磁场动态补偿系统和方法，该系统基于PID负反馈电子电路及环境磁场波动的空间相关性，利用大、小两套亥姆霍兹线圈架及两个磁通门计，可以实现三轴方向上环境磁场的动态补偿... -
[发明专利] 一种基于电镀铜衬底制备大面积石墨烯薄膜的方法 - CN102212794A
申请人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所 申请年:2011 主分类号:C23C16/26
被引非专利数:0 被引专利数:22 被引总数:22
本发明涉及一种在电镀铜衬底上制备石墨烯的方法，其特征在于所述的方法包括如下步骤：在硅片上制备图形化电镀铜衬底；利用常压化学气相沉积的方法在800-1000C的温度下，利用甲烷为碳源，氩气和氢气... -
[发明专利] 高透光基体上复合微纳结构阵列、方法及其应用 - CN101544348A
申请人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所 申请年:2009 主分类号:B81B7/04
被引非专利数:0 被引专利数:22 被引总数:22
高透光基体上复合微纳结构阵列、方法及其应用，其特征在于以高透光 基体上的导光材料微纳结构阵列作为检测用荧光共轭聚合物的支撑结构。首 先在石英等高透光材料基体上制备导光材料的微纳结构阵列及二次结... -
[发明专利] 包含超晶格隔离层的大晶格失配外延材料缓冲层结构及其制备 - CN101814429A
申请人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所 申请年:2009 主分类号:H01L21/203
被引非专利数:0 被引专利数:17 被引总数:17
本发明涉及一种包含超晶格隔离层的大晶格失配外延材料缓冲层结构及其制备，在组分渐变缓冲层中插入n层无应变的超晶格隔离层材料，n为自然数，1≤n≤5；其制备过程为：首先确定生长温度、束源炉温度等参...
