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[发明专利] 一种转盘式机械快门同步时序控制方法 - CN100383659C
申请人:中国科学院光电技术研究所
申请年:2003
主分类号:G03B9/10
被引非专利数:0
被引专利数:0
被引总数:0
一种转盘式机械快门同步时序控制方法,在脉冲激光发射同步接收光电系统中控制脉冲激光器的发射时序和光电探测器的曝光时序,它采用内触发同步时序控制方式,即利用转盘式机械快门装置上自备的光电开关信号作... -
[发明专利] 基于数字微镜阵列的步进式无掩模数字曝光装置 - CN101320222A
申请人:中国科学院光电技术研究所
申请年:2008
主分类号:G03F7/20
被引非专利数:0
被引专利数:14
被引总数:14
本发明公开了一种基于数字微镜阵列的步进式无掩模数字曝光装置,利用数字微镜阵列替代传统掩模板的方法,结合投影曝光系统的特点,实现系统数字式、柔性曝光;由计算机将要曝光的图形、图像发送到数字微镜阵... -
[发明专利] 一种基于光栅泰伯效应的检焦方法 - CN104238284B
申请人:中国科学院光电技术研究所
申请年:2014
主分类号:G03F7/20
被引非专利数:0
被引专利数:0
被引总数:0
本发明涉及一种基于光栅泰伯效应的检焦方法,其作用是实时检测光刻机系统的硅片位置,完成硅片的高精度调平和调焦。检测系统利用硅片离焦引起的光栅泰伯效应的“自成像”位相变化,完成光刻机硅片的高精度检... -
[发明专利] 一种基于哈特曼波前传感器的模式波前复原方法 - CN104239740B
申请人:中国科学院光电技术研究所
申请年:2014
主分类号:G06F19/00
被引非专利数:0
被引专利数:0
被引总数:0
本发明公开了一种基于哈特曼波前传感器的模式波前复原方法,将哈特曼波前传感器子孔径内波前的斜率和二次曲率数据同时作为有效信息,根据各阶像差模式分布构成模式斜率曲率关系矩阵,在获得实际待测波前在各... -
[发明专利] 一种低杂散的DDS单频信号发生器 - CN104734701A
申请人:中国科学院光电技术研究所
申请年:2015
主分类号:H03L7/18
被引非专利数:0
被引专利数:2
被引总数:2
一种低杂散的DDS单频信号发生器,包括第一累加器(1)、对称性处理模块(2)、第二累加器(3)、ROM表(4)、分频模块(5)和相位抖动器(6),第一累加器(1)在参考时钟下,累加某一频率控制... -
[发明专利] 一种偏振转换装置 - CN104793344B
申请人:中国科学院光电技术研究所
申请年:2015
主分类号:G02B27/28
被引非专利数:0
被引专利数:0
被引总数:0
本发明公开了一种偏振转换装置,解决了高NA光刻技术中光束由X偏振光或Y偏振光转换为XY偏振光和YX偏振光问题,所述偏振转换装置由两块二分之一波片、两片熔石英基片拼接并深度光胶在熔石英基底上构成... -
[发明专利] 基于多视线相关夏克‑哈特曼波前传感器的实时控制器 - CN105204405B
申请人:中国科学院光电技术研究所
申请年:2015
主分类号:G05B19/042
被引非专利数:0
被引专利数:0
被引总数:0
本发明公开了基于多视线相关夏克‑哈特曼波前传感器的实时控制器,是一种针对多层共轭自适应光学技术提出的多通道并行处理硬件平台架构,用于大视场范围内多视线方向上波前斜率探测和复原。该控制器采用FP... -
[发明专利] 一种基于啁啾光栅的间隙检测与控制的超分辨光刻装置 - CN106547173B
申请人:中国科学院光电技术研究所
申请年:2016
主分类号:G03F7/20
被引非专利数:0
被引专利数:0
被引总数:0
本发明是一种基于啁啾光栅间隙检测与控制的超分辨光刻装置,属于超分辨光刻装置的改进和创新技术领域。该装置的特点在于包括超精密环控系统、主动隔振平台、支撑框架、光源、间隙检测系统、对准模块、光刻镜... -
[发明专利] 一种基于自适应光学的光谱成像装置 - CN106556461B
申请人:中国科学院光电技术研究所
申请年:2016
主分类号:G01J3/02
被引非专利数:0
被引专利数:0
被引总数:0
本发明提供了一种基于自适应光学的光谱成像装置,包括准直器(1)、倾斜镜(2)、波前校正器DM(3)、二向色分光镜(4)、波前探测器(5)、波前控制器(6)、成像系统(7)、望远镜一次像面(8)... -
[发明专利] 一种磁球球体的铣削及经纬线刻线的加工方法 - CN109551022B
申请人:中国科学院光电技术研究所
申请年:2019
主分类号:B23C3/02
被引非专利数:0
被引专利数:0
被引总数:0
本发明公开了一种磁球球体的铣削及经纬线刻线的加工方法。适用于普通工具铣床加工有机玻璃磁球球体及其表面经纬线。包括:把尾座固定在回转工作台上,通过中间套用钻夹头安装刀具,在铣床主轴上通过带角分度...
