专利名称 ---【 一种有机场效应晶体管及其专用源漏电极与制备方法 】

基本信息
申请号
CN200710177814.2
申请日
20071121
公开(公告)号
CN101442105A
公开(公告)日
20090527
申请(专利权)人
中国科学院化学研究所
申请人地址
100080北京市海淀区中关村北一街2号
发明人
于贵;狄重安;魏大程;刘云圻;郭云龙;朱道本 专利类型 发明专利
摘要
本发明公开了一种有机场效应晶体管及其专用源漏电极与制备方法。本发明的电 极结构有机场效应晶体管,包括栅极电极、介电层、有机半导体层、源电极和漏电极, 其中,源电极和漏电极是本发明的图案化石墨烯电极。本发明制备图案化石墨烯电极 的方法,包括如下步骤:1)在衬底上沉积金属薄膜,并将所述金属薄膜图案化;2) 将沉积有图案化金属薄膜的衬底置于化学气相沉积系统中,在图案化金属电极材料表 面上化学气相沉积石墨烯,得到图案化石墨烯电极;其中,化学气相沉积所用的碳源 为甲醇、乙醇、丙醇、戊醇、苯、甲苯、二甲苯和甲烷等。
主权项
NULL

 

IPC信息
IPC主分类号
H01L51/40

 

法律状态信息
法律状态公告日
20090527
法律状态
公开 法律状态信息
CN200710177814 20090527 公开 公开
法律状态公告日
20090722
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
CN200710177814 20090722 实质审查的生效 实质审查的生效
法律状态公告日
20100609
法律状态
授权 法律状态信息
CN200710177814 20100609 授权 授权
法律状态公告日
20150107
法律状态
专利权的终止 法律状态信息
CN200710177814 20150107 专利权的终止 未缴年费专利权终止IPC(主分类):H01L 51/40申请日:20071121授权公告日:20100609终止日期:20131121

 

代理信息
代理机构名称
北京纪凯知识产权代理有限公司 11245
代理人姓名
关畅


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