专利名称 ---【 微位移高精度实时干涉测量装置 】

基本信息
申请号
CN200720067118.1
申请日
20070207
公开(公告)号
CN201016705Y
公开(公告)日
20080206
申请(专利权)人
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址
201800上海市800-211邮政信箱
发明人
何国田;王向朝 专利类型 实用新型
摘要
一种微位移高精度实时干涉测量装置,包括由半导体激光器、准直扩束镜、分束器、参考平板、待测量物体和探测元件组成的泰曼格林干涉仪,其特点是:所述的探测元件的输出端依次串连接实时信号处理电路归一化电路和单片机,该单片机具有相位连续化处理软件,该单片机的输出端与示波器的输入端相连,直流电源和信号源通过调制器与所述的半导体激光器相连接,所述的信号源还与所述的实时信号处理电路相连接。本实用新型的优点是提高了位移测量精度,扩展测量范围,使用时不需要校正,操作简便,可靠性高。
主权项
1.一种微位移高精度实时干涉测量装置,包括由半导体激光器(1)、 准直扩束镜(2)、分束器(3)、参考平板(4)、待测量物体(5)和 探测元件(6)组成的泰曼格林干涉仪,其特征在于:所述的探测元件(6) 的输出端接实时信号处理电路(7)输入端、该实时信号处理电路(7) 输出端接归一化电路(8)输入端,该归一化电路(8)输出端接单片机 (9)输入端,该单片机(9)具有相位连续化处理软件,该单片机(9)的输 出端与示波器(10)的输入端相连,直流电源(11)和信号源(12)通 过调制器(13)与所述的半导体激光器(1)相连接,所述的信号源(12) 还与所述的实时信号处理电路(7)相连接。

 

IPC信息
IPC主分类号
G01B9/027

 

法律状态信息
法律状态公告日
20080206
法律状态
授权 法律状态信息
CN200720067118 20080206 授权 授权
法律状态公告日
20090916
法律状态
专利权的主动放弃 法律状态信息
CN200720067118 20090916 专利权的主动放弃 专利权的主动放弃授权公告日:2008.2.6

 

代理信息
代理机构名称
上海新天专利代理有限公司 31213
代理人姓名
张泽纯


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