专利名称 ---【 偏振移相双剪切干涉波面测量仪 】

基本信息
申请号
CN200720075604.8
申请日
20071019
公开(公告)号
CN201083544Y
公开(公告)日
20080709
申请(专利权)人
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址
201800上海市800-211邮政信箱
发明人
王利娟;刘立人;栾竹;孙建锋;周煜 专利类型 实用新型
摘要
一种偏振移相双剪切干涉波面测量仪,该测量仪的构成是沿光束的前进方向依次包括:第一雅敏平行平板、左下楔形光学平板、左上楔形光学平板、右下楔形光学平板、右上楔形光学平板、第二雅敏平行平板、偏振移相器、成像镜组和图像传感器,该图像传感器的输出端接计算机。本实用新型不仅保持了双剪切干涉波面测量仪的所有特点,而且具有灵敏度高、能精确测量任意对称波面并给出完整波面轮廓等优点。
主权项
1.一种偏振移相双剪切干涉波面测量仪,其特征在于其构成是沿光束的前进方 向包括:第一雅敏平行平板(1)、左下楔形光学平板(2)、左上楔形光学平板(3)、 右下楔形光学平板(4)、右上楔形光学平板(5)、第二雅敏平行平板(6)、偏振移 相器、成像镜组(9)和图像传感器(10),该图像传感器(10)的输出端接计算机 (11),所述的第二雅敏平行平板(6)与第一雅敏平行平板(1)平行放置,其材料 和光学厚度相同,所述的第一雅敏平行平板(1)的入射工作面(A)的分光部位镀 有偏振分束薄膜,而另一个工作面(B)的反射部位镀有全反射薄膜,经该第一雅敏 平行平板(1)分光后形成两路偏振方向相互垂直的线偏振干涉光束,所述的第二雅 敏平行平板(6)的出射工作面(C)的合光部位镀有消偏振分束薄膜,另一个工作 面(D)的反射部位镀有全反射薄膜,两路干涉光束经过该第二雅敏平行平板(6) 后在其消偏振分束薄膜处进行合光,并且它们的强度相等或者接近相等,所述的左 下楔形光学平板(2)、左上楔形光学平板(3)、右下楔形光学平板(4)、右上楔形 光学平板(5)的材料、楔角与光学厚度相同,放置在所述的第一雅敏平行平板(1) 与第二雅敏平行平板(6)之间,所述的左下楔形光学平板(2)、左上楔形光学平板 (3)上下叠放且偏转光束的方向相反,形成一个楔形光学平板组,所述的右下楔形 光学平板(4)、右上楔形光学平板(5)上下叠放且偏转光束的方向相反,形成另一 个楔形光学平板组,所述左下楔形光学平板(2)和右下楔形光学平板(4)的短边 或者长边相接,所述左上楔形光学平板(3)和右上楔形光学平板(5)的长边或者 短边相接且与左下楔形光学平板(2)、右下楔形光学平板(4)之间的相接情况相反, 所述的两个楔形光学平板组各自透过一路干涉光束,并使透过的干涉光束上下部分 的偏转方向相反。

 

IPC信息
IPC主分类号
G01J9/02

 

法律状态信息
法律状态公告日
20080709
法律状态
授权 法律状态信息
CN200720075604 20080709 授权 授权
法律状态公告日
20091230
法律状态
其他有关事项(避免重复授权放弃专利权) 法律状态信息
CN200720075604 20091230 其他有关事项(避免重复授权放弃专利权) 其他有关事项(避免重复授权放弃专利权)放弃生效日: 2007.10.19

 

代理信息
代理机构名称
上海新天专利代理有限公司 31213
代理人姓名
张泽纯


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