专利名称 ---【 一种基于光子晶体空气桥结构的慢光波导结构 】

基本信息
申请号
CN201010251511.2
申请日
20100811
公开(公告)号
CN101963736B
公开(公告)日
20110202
申请(专利权)人
中国科学院半导体研究所
申请人地址
100083 北京市海淀区清华东路甲35号
发明人
张冶金;郑婉华;渠红伟;陈良惠 专利类型 发明专利
摘要
本发明公开了一种基于光子晶体空气桥结构的慢光波导结构,该慢光波导结构采用线缺陷光子晶体结构,包括纵向结构及横向结构,纵向结构为空气桥多层结构,从顶层到底层依次为空气层/半导体材料层/空气层/衬底材料层,横向结构采用三角晶格结构,周期为P,半径为R,通过去掉一行孔形成波导。本发明通过变化线缺陷临近孔的大小,实现高达50纳米的慢光工作区,中心波长可以通过波导宽度来调节,在上百纳米的工作波长要求范围内只需要两种孔径的小孔就可实现,可降低满足某一工艺条件的器件参数调整要求。利用本发明提供的基于光子晶体空气桥结构的慢光波导结构的慢光光子晶体波导,其带宽可覆盖光纤通信C波段,高达50nm。
主权项
一种基于光子晶体空气桥结构的慢光波导结构,其特征在于,该慢光波导结构采用线缺陷光子晶体结构,包括纵向结构及横向结构,纵向结构为空气桥多层结构,从顶层到底层依次为空气层/半导体材料层/空气层/衬底材料层,横向结构采用三角晶格结构,周期为P,半径为R,通过去掉一行孔形成波导;其中,该慢光波导结构通过调整线缺陷临近孔的半径及波导的宽度来改变慢光区域带宽及中心波长位置,且线缺陷临近孔的直径比阵列其他孔的直径小;其中,所述调整线缺陷临近孔的半径及波导的宽度来改变慢光区域带宽及中心波长位置,包括:当临近孔半径变化时,慢光工作波长位置及范围都将发生变化;当波导临近第一排孔半径变小时,慢光工作范围会向长波方向移动,带宽也将逐渐增大,但带宽增加到一定程度,就不是单模了;当波导宽度缩小时,慢光工作区域会向短波方向移动,工作带宽也将发生变化。

 

IPC信息
IPC主分类号
G02F1/365

 

法律状态信息
法律状态公告日
20110202
法律状态
公开 法律状态信息
CN201010251511 20110202 公开 公开
法律状态公告日
20110323
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
CN201010251511 20110323 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G02F 1/365申请日:20100811
法律状态公告日
20120926
法律状态
授权 法律状态信息
CN201010251511 20120926 授权 授权
法律状态公告日
20160601
法律状态
著录事项变更 法律状态信息
CN201010251511 20160601 著录事项变更 著录事项变更IPC(主分类):G02F 1/365变更事项:发明人变更前:张冶金 郑婉华 渠红伟 陈良惠变更后:郑婉华 渠红伟 陈良惠

 

代理信息
代理机构名称
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人姓名
周国城


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