专利名称 ---【 一种反射带位置动态可调的选择性滤光片 】

基本信息
申请号
CN201010284485.3
申请日
20100917
公开(公告)号
CN102004331A
公开(公告)日
20110406
申请(专利权)人
中国科学院上海技术物理研究所
申请人地址
200083 上海市玉田路500号
发明人
胡古今;张婷;戴宁 专利类型 发明专利
摘要
本发明公开了一种反射带位置动态可调的选择性滤光片,该元件依次由FTO玻璃衬底,致密铁电膜层,铁电氧化物介质反射膜堆,致密铁电膜层,透明导电氧化物膜层上电极组成。其特征表现在:I.衬底为F掺杂SnO2涂布的玻璃(简称FTO玻璃);II.铁电氧化物介质反射膜由折射率不同的锆钛酸铅(PZT)材料在空间交替排列而成;III.两个致密铁电膜层指组分与反射膜材料组分一致的PZT薄膜;IV.氧化物膜层上电极是透明导电的ZnO:Al薄膜。本发明的优势在于:利用PZT材料的电光效应,通过外加直流电场改变PZT薄膜的折射率,使铁电氧化物介质反射膜堆的反射带的中心波长发生移动,进而方便地动态调控滤光片的中心工作频率。该类滤光片在众多技术领域具有广泛的应用前景。
主权项
一种反射带位置动态可调的选择性滤光片,在衬底(1)上依次置有第一致密铁电膜层(2),铁电氧化物介质反射膜堆(3),第二致密铁电膜层(4)和透明导电氧化物膜层上电极(5),其特征在于:所述的衬底(1)是透明导电氧化物F掺杂SnO2涂布的玻璃;所述的第一致密铁电膜层(2)和第二致密铁电膜层(4)是厚度为100~200nm的锆钛酸铅薄膜;所述的铁电氧化物介质反射膜堆(3)为锆钛酸铅反射膜系,反射膜系由8~16个周期的致密锆钛酸铅和多孔锆钛酸铅膜层交替排列组成,其膜系结构为:第一致密铁电膜层(2)/(HL)n/第二致密铁电膜层(4)其中:H是厚度为40‑100nm的多孔锆钛酸铅薄膜,L是厚度为40‑100nm的致密锆钛酸铅薄膜,n为周期数,取值范围8‑16;所述的透明导电氧化物膜层上电极(5)是厚度为200~400nm的透明导电ZnO:Al薄膜。

 

IPC信息
IPC主分类号
G02F1/05

 

法律状态信息
法律状态公告日
20110406
法律状态
公开 法律状态信息
CN201010284485 20110406 公开 公开
法律状态公告日
20110525
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
CN201010284485 20110525 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G02F 1/05申请日:20100917
法律状态公告日
20121114
法律状态
发明专利申请公布后的视为撤回 法律状态信息
CN201010284485 20121114 发明专利申请公布后的视为撤回 发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):G02F 1/05申请公布日:20110406

 

代理信息
代理机构名称
上海新天专利代理有限公司 31213
代理人姓名
郭英


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