专利名称 ---【 一种用于测试气体对极紫外光吸收率的测试装置及方法 】

基本信息
申请号
CN201510963083.9
申请日
20151221
公开(公告)号
CN106338471A
公开(公告)日
20170118
申请(专利权)人
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请人地址
130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
发明人
谢耀;喻波;王丽萍;周烽;金春水 专利类型 发明专利
摘要
本发明涉及一种用于测试气体对极紫外光吸收率的测试装置及方法。极紫外光能量测量单元通过测量气体样品池充入待测气体前后的极紫外光能量的变化来计算测试气体在测试气压下对极紫外光的吸收率。本发明的测试装置及测试方法操作简单,成本低。
主权项
一种用于测试气体对极紫外光吸收率的测试装置,其特征在于,所述测试平台包括:极紫外光光源,用来发射极紫外光;流动气体样品池,可以保持测试所需的条件,所述流动气体样品池的一端与所述极紫外光光源的一端相连;真空获取单元,用来使所述极紫外光光源、所述流动气体样品池保持测试所需的条件,所述极紫外光光源及所述流动气体样品池分别与所述真空获取单元相连;极紫外光能量测量单元,用来测量所述极紫外光光源发射的极紫外光通过所述流动气体样品池到达所述极紫外光能量测量单元的能量,所述极紫外光能量测量单元的一端与所述流动气体样品池的另一端相连;极紫外光光源能量记录单元,用来记录极紫外光光源的能量,所述极紫外光光源能量记录单元与所述极紫外光光源的另一端相连;所述极紫外光光源、所述流动气体样品池、所述极紫外光能量测量单元、所述极紫外光光源能量记录单元位于同一轴线上。

 

IPC信息
IPC主分类号
G01N21/17

 

法律状态信息
法律状态公告日
20170118
法律状态
公开 法律状态信息
CN201510963083 20170118 公开 公开
法律状态公告日
20170215
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
CN201510963083 20170215 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/17申请日:20151221
法律状态公告日
20190409
法律状态
发明专利申请公布后的视为撤回 法律状态信息
CN201510963083 20190409 发明专利申请公布后的视为撤回 发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):G01N 21/17申请公布日:20170118

 

代理信息
代理机构名称
深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316
代理人姓名
郝明琴


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