专利名称 ---【 三维磁场测量组件及制备方法 】

基本信息
申请号
CN201710372145.8
申请日
20170522
公开(公告)号
CN107229021B
公开(公告)日
20171003
申请(专利权)人
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请人地址
200050 上海市长宁区长宁路865号
发明人
王会武;张栖瑜;刘全胜;应利良;王镇 专利类型 发明专利
摘要
本发明提供一种三维磁场测量组件及制备方法,组件至少包括:衬底、制备在所述衬底上第一SQUID器件、第二SQUID器件、第三SQUID器件、第一探测线圈、第二探测线圈以及第三探测线圈,其中,所述第一探测线圈与第一SQUID器件相连,且所述第一探测线圈的法线方向与X轴方向平行;所述第二探测线圈与第二SQUID器件相连,且所述第二探测线圈的法线方向与Y轴方向平行;所述第三探测线圈与第三SQUID器件相连,且所述第三探测线圈的法线方向与Z轴方向平行。本发明在同一个衬底上制备了3个SQUID器件,且每个SQUID器件探测1个空间方向的磁场,这种方法省略了现有技术组件中的立方体结构,减小了三维磁场探测组件的体积和安装难度,降低了制备成本,缩小了三个器件之间非正交性误差。
主权项
1.一种三维磁场测量组件的制备方法,其特征在于,所述制备方法至少包括:首先提供一衬底,然后在所述衬底上制备第一SQUID器件、第二SQUID器件、第三SQUID器件、第一探测线圈、第二探测线圈以及第三探测线圈,其中,制备的第一探测线圈与所述第一SQUID器件相连,且所述第一探测线圈的法线方向与X轴方向平行,用于测量X轴方向磁场;制备的第二探测线圈与所述第二SQUID器件相连,且所述第二探测线圈的法线方向与Y轴方向平行,用于测量Y轴方向磁场;制备的第三探测线圈与所述第三SQUID器件相连,且所述第三探测线圈的法线方向与Z轴方向平行,用于测量Z轴方向磁场。

 

IPC信息
IPC主分类号
G01R33/035

 

法律状态信息
法律状态公告日
20171003
法律状态
公开 法律状态信息
CN201710372145 20171003 公开 公开
法律状态公告日
20171103
法律状态
实质审查的生效 法律状态信息
CN201710372145 20171103 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G01R 33/035申请日:20170522
法律状态公告日
20190719
法律状态
授权 法律状态信息
CN201710372145 20190719 授权 授权

 

代理信息
代理机构名称
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人姓名
唐棉棉


| 联系我们 | 网站地图 | 版权声明 |

版权:中国科学院 主办:中国科学院科技促进发展局 承办:中国科学院成都文献情报中心 蜀ICP备05003827号-12

建议使用1024×768 分辨率 IE6.0以上版本浏览器