专利名称 ---【 基于工艺窗口的冗余局部环路插入方法 】

基本信息
申请号
CN202110372285.1
申请日
20210407
公开(公告)号
CN113097207A
公开(公告)日
20210709
申请(专利权)人
中国科学院微电子研究所
申请人地址
100029 北京市朝阳区北土城西路3号
发明人
屈通;韦亚一;粟雅娟 专利类型 发明专利
摘要
本发明涉及一种基于工艺窗口的冗余局部环路插入方法,解决了现有技术中缺乏对工艺窗口的考虑,难以满足可制造性要求的问题。该方法包括:输入原始版图,提取得到所有的通孔信息和所有可用的RLL插入方案;计算每一个所述RLL插入方案对应的工艺窗口和代价;利用每一个所述代价函数和每一个所述工艺窗口计算目标函数,根据所述目标函数得到最优的RLL插入方案;基于所述最优的RLL插入方案进行冗余局部环路插入,输出最终的版图,实现了基于工艺窗口的版图的可制造性。
主权项
1.一种基于工艺窗口的冗余局部环路插入方法,其特征在于,包括:输入原始版图,提取得到所有的通孔信息和所有可用的RLL插入方案;计算每一个所述RLL插入方案对应的工艺窗口和代价;利用每一个所述代价函数和每一个所述工艺窗口计算目标函数,根据所述目标函数得到最优的RLL插入方案;基于所述最优的RLL插入方案进行冗余局部环路插入,输出最终的版图。

 

IPC信息
IPC主分类号
H01L27/02

 

法律状态信息
法律状态公告日
20210709
法律状态
公开 法律状态信息
CN202110372285 20210709 公开 公开

 

代理信息
代理机构名称
北京天达知识产权代理事务所(普通合伙) 11386
代理人姓名
庞许倩


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