专利名称 ---【 光谱仪激发光、分束器和滤光片的联动切换装置 】

基本信息
申请号
CN202110790823.9
申请日
20210713
公开(公告)号
CN113640219A
公开(公告)日
20211112
申请(专利权)人
中国科学院半导体研究所
申请人地址
100083 北京市海淀区清华东路甲35号
发明人
窦秀明;丁琨;孙宝权 专利类型 发明专利
摘要
本发明提供了一种光谱仪激发光、分束器和滤光片的联动切换装置,其特征在于,所述联动切换装置包括:底板;旋转位移台,通过旋转位移台支架固定于所述底板;转动管,固定于所述旋转位移台的中心孔;转动反射镜,固定于所述转动管的入射端;转动分束器固定架,固定于所述转动管的出射端;分束器,固定于所述转动分束器固定架;长波通滤光片,固定于所述转动分束器固定架;入射光耦合立方,通过入射光耦合立方支架固定于所述底板;入射反射镜,固定于所述入射光耦合立方,反射激发光至转动反射镜;高度提升反射镜,包括第一高度提升反射镜和第二高度提升反射镜,通过高度提升反射镜支架固定于所述底板。
主权项
1.一种光谱仪激发光、分束器和滤光片的联动切换装置,其特征在于,所述联动切换装置包括:底板;旋转位移台,通过旋转位移台支架固定于所述底板;转动管,固定于所述旋转位移台的中心孔;转动反射镜,固定于所述转动管的入射端;转动分束器固定架,固定于所述转动管的出射端;分束器,固定于所述转动分束器固定架;长波通滤光片,固定于所述转动分束器固定架;入射光耦合立方,通过入射光耦合立方支架固定于所述底板;入射反射镜,固定于所述入射光耦合立方,反射激发光至转动反射镜;高度提升反射镜,包括第一高度提升反射镜和第二高度提升反射镜,通过高度提升反射镜支架固定于所述底板。

 

IPC信息
IPC主分类号
G01N21/01

 

法律状态信息
法律状态公告日
20211112
法律状态
公开 法律状态信息
CN202110790823 20211112 公开 公开

 

代理信息
代理机构名称
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人姓名
鄢功军


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